立博体育合法吗光学元件微纳缺陷检测技术及应

日期:2020-08-16 作者:立博体育合法吗 151

立博体育合法吗在精密光学元件的工程化、产业化应用中,大家开始逐步关注批量化自动检测。本报告在综述各类超精密光学元件缺陷检测技术基础上,重点介绍基于激光散射技术、光热吸收检测技术在光学元件微纳缺陷检测中的应用。激光散射检测技术检测速度快,检测灵敏度高(浅划痕缺陷宽度检测灵敏度达到50nm量级),是一种极为有效的适用于缺陷“快速发现”的检测方法,特别是针对大口径元件,具有较为显著的优势。对缺陷实现快速发现并精确定位后,一般需要对缺陷进行进一步精确分析和评估。本报告将举例介绍在相关方面的进展,特别是对多模态缺陷检测技术的研究进展。这些技术包括光热显微成像技术,共聚焦显微成像技术,光学显微成像技术等。